The Properties Of Cotton Textile Deposited By Copper And Silver Using Magnetron Sputtering Coating Technique
Bu çalışmada, bakır ve gümüş kullanılarak DC magnetron sputter kaplama tekniği ile pamuk tekstiline yüzey kaplaması yapılmıştır. Bu kaplama tekniği ile elde edilen yapısal ve morfolojik özellikler, taramalı elektron mikroskobu (SEM), enerji dağılım spektroskopisi (EDS), aşındırma ve damla testleri kullanılarak incelenmiştir. Ayrıca, bu metal film kaplamalarının kalınlığı ölçmek için yeni bir yöntem olan kütle denge yöntemi önerilmiş ve SEM ile elde edilen sonuçlarla karşılaştırılmıştır. Bu sonuçlar arasında iyi bir uyum bulunmuştur.DC magnetron sputter kaplama tekniği, vakum odasının içinde plazma oluşturmak için kullanılmıştır. Bu plazma, 400 mm yüksekliğe, genişliğe ve uzunluğa sahip paslanmaz çelik kübik bir vakum odasında sınırlı tutulmuştur. Plazma, bir magnetron sputter sistemi (NANOVAK NVSS-350, Türkiye) kullanılarak oluşturulmuştur. Bu yöntemin çalışma prensibi, dış elektrik alanı ve manyetik alan tarafından oluşturulan enerjik iyonları işlemektir. Arjondan oluşan inert bir arka plan gazı, ayarlanabilir bir kütle debimetre aracılığıyla odada tanıtılmış ve elektrotlar arasındaki potansiyel yaklaşık olarak 400 V olarak ayarlanmıştır. Kaplama için kullanılan Ag ve Cu hedeflerinin saflığı %99.99'dur. Hedeflerin çapı 50.8 mm, kalınlığı ise yaklaşık 4 mm'dir. Substrat ile hedef arasındaki mesafe 5 cm ile 8 cm arasında değişmektedir. Magnetron sputter kaplama tekniğinde, elektriksel (E) ve manyetik (B) alanlar, uygun bir şekilde bir güç kaynağı ve kalıcı mıknatıs kullanılarak oluşturulmuştur, böylece elektronlar ve gaz iyonları üzerinde sürüklenme kuvveti elde edilebilir.(AI)
Atıf Sayısı :
